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供应气体保护链式炉系列

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详细说明

    精密气体保护链带式炉系列主要用于半导体器件的烧结、封焊、焊接、烘干及混合膜集成电路、金属化管壳的气密性封装等工艺,以及各种零件在氢氮等保护下所进行的烧结或退火等工艺。

技术特点:

◆高可靠、高稳定性

◆精确的工艺温度控制

◆完善的氢氮等气体排放可靠安全保护措施

◆新型节能措施

◆完整的炉型体系:直通式 驼背式 开合式等

系统组成:

主要由加热系统、微电脑自动控制系统、机械传动、变频调速机构、氢氮(或其它工艺气体)保护装置等组成。

它具有满足生产中的各种温度曲线要求,传送调速范围宽,并设有水、气、电转换器控制,传感报警及超温保护报警功能,设有断氢、断氮、断水与自动点火装置,并设有安全联锁装置,是用户提高生产效率的理想设备。

链带式炉的主要技术指标



链带烧结式炉

(EBC-BL型) 链带式烧结炉

(EBC-BI型) 链带式烧结炉

(EBC-BII型)

工作室高度mm 50-100mm 50-80mm 60-200mm

工作室宽度mm 80-1000mm 80-1000mm 100-300mm

冷却端长mm 1000-2500 1000-2500 1000-3500

工作温度 100℃~500℃ 200℃~800℃ 500℃~1100℃

控制精度(静态) ≤ ±2℃ ≤ ±1℃ ≤ ±1℃

带速 60~600mm/min 50~500mm/min 60~600mm/min

升温时间 30min 60min 60min

升温功率 15KW~65KW 35KW~85KW 50KW~85KW

温度控制 3~9区/微机 5~9区/微机 5~9区/微机

 
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